MgF2 Substrat
Opis
MgF2 se uporablja kot leča, prizma in okno za valovne dolžine od 110 nm do 7,5 μm.Je najprimernejši material kot okno za ArF Excimer Laser, zaradi dobrega prenosa pri 193 nm.Učinkovit je tudi kot optični polarizator v ultravijoličnem območju.
Lastnosti
| Gostota（g/cm3） | 3.18 |
| Tališče (℃) | 1255 |
| Toplotna prevodnost | 0,3 Wm-1K-1 pri 300K |
| Toplotno raztezanje | 13,7 x 10-6 /℃ vzporedna os c 8,9 x 10-6 /℃ pravokotno na c-os |
| Trdota po Knoopu | 415 s 100g indenterjem (kg/mm2) |
| Specifična toplotna kapaciteta | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrična konstanta | 1,87 pri 1MHz vzporedni c-osi 1,45 pri 1MHz pravokotno na c-os |
| Youngov modul (E) | 138,5 GPa |
| Strižni modul (G) | 54,66 GPa |
| Modul razsutega toka (K) | 101,32 GPa |
| Koeficient elastičnosti | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Navidezna meja elastičnosti | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poissonovo razmerje | 0,276 |
Opredelitev substrata MgF2
Substrat MgF2 se nanaša na substrat iz kristalnega materiala magnezijevega fluorida (MgF2).MgF2 je anorganska spojina, sestavljena iz elementov magnezija (Mg) in fluora (F).
Substrati MgF2 imajo številne pomembne lastnosti, zaradi katerih so priljubljeni v različnih aplikacijah, zlasti na področju optike in nanašanja tankih filmov:
1. Visoka preglednost: MgF2 ima odlično preglednost v ultravijoličnem (UV), vidnem in infrardečem (IR) območju elektromagnetnega spektra.Ima širok razpon prenosa od ultravijoličnega pri približno 115 nm do infrardečega pri približno 7500 nm.
2. Nizek lomni količnik: MgF2 ima relativno nizek lomni količnik, zaradi česar je idealen material za AR premaze in optiko, saj zmanjšuje neželene odboje in izboljšuje prepustnost svetlobe.
3. Nizka absorpcija: MgF2 ima nizko absorpcijo v ultravijoličnem in vidnem spektralnem območju.Zaradi te lastnosti je uporaben v aplikacijah, ki zahtevajo visoko optično jasnost, kot so leče, prizme in okna za ultravijolične ali vidne žarke.
4. Kemijska stabilnost: MgF2 je kemično stabilen, odporen na širok spekter kemikalij in ohranja svoje optične in fizikalne lastnosti v številnih okoljskih pogojih.
5. Toplotna stabilnost: MgF2 ima visoko tališče in lahko prenese visoke delovne temperature brez znatne degradacije.
Substrati MgF2 se pogosto uporabljajo v optičnih prevlekah, postopkih nanašanja tankih filmov in optičnih oknih ali lečah v različnih napravah in sistemih.Služijo lahko tudi kot vmesne plasti ali šablone za rast drugih tankih filmov, kot so polprevodniški materiali ali kovinski premazi.
Ti substrati so običajno proizvedeni s tehnikami, kot so parno nanašanje ali metode fizičnega parnega transporta, kjer se material MgF2 nanese na ustrezen substratni material ali goji kot posamezen kristal.Odvisno od zahtev uporabe so lahko podlage v obliki rezin, plošč ali oblik po meri.
